半導體檢測

深度剖析顯微檢測儀

介紹

高精度量測系統與運動控制技術

我們的高精度量測系統與運動控制技術在工業應用中提供無與倫比的精確度和可靠性。本文將介紹我們的量測系統、運動控制、即時影像、參數設定、分析功能及自動化量測。

量測系統

• 線長 (mm): 4.78±0.02

• 工作距離 (mm): 39±0.2

• 間距 (μm): 25

• 光斑直徑 (μm): 10

• 量測角度 (degree): ±20

• 量測範圍: 3.9

• 軸向解析度 (nm): 320

• 準確度 (μm): 1.2

運動控制

• 工作量行程 (mm): 350×350×125

• 工作量尺寸 (mm): 480×430

• 獨立伺服馬達控制

• X/Y軸光學尺解析度 (μm): 0.5

• Z軸光學尺解析度 (μm): 0.1

即時影像

• 待測物表面觀察

• 自動對焦

• 連續拖曳移動

參數設定

• 設備平台移動控制

• 掃描參數設定

• 設備資訊回饋

• 報表顯示

分析功能

• 台階高度量測

• 地貌輪廓尺寸分析

• 3D旋轉物體分析

• 高度分佈圖像分析

• 數據整併、插補畫面及距離分析

自動化量測

• 密集化編程，有效增加量測效率，降低操作人員編程時間

• 儲存/載入量測任務，提高生產過程的量測效率

• 自動分析數值

透過我們的高精度量測系統和運動控制技術，您的企業可以實現更高的生產效率和品質控制。如果您有任何疑問或需要進一步的資訊，請隨時與我們聯絡。